半導體怎麽抗腐蝕？工業91看片网站视频機幫助企業提高成品率

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　　半導體製造如何抗腐蝕？工業91看片网站视频機幫助企業提高成品率

　　濕度/濕度導致“電路點”的腐蝕，微芯片電路表麵上的冷凝和光致抗蝕劑的不當粘附導致半導體組件的操作失敗。

　　一般建議

　　半導體組裝製造區域的相對濕度應保持在30％RH，20°C（70°F）。

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　　半導體......微電路和微芯片-製造需要在製造/加工區域保持非常精確的條件。用於半導體組裝/加工的組件通常是吸濕的，因此高度易受高濕度條件的影響。高濕度條件導致芯片操作失敗，粘附不當，電路點腐蝕和許多其他問題。

　　濕度控製......一個重要的變量-

　　防止“電路點”的腐蝕。

　　防止微芯片電路表麵結露。

　　保護設備

　　光刻膠的附著力更好

　　因此，濕度控製成為必需品

　　1.裝配區

　　在半導體和集成電路的生產中，過多的水分會對粘合過程產生不利影響並增加缺陷。稱為光致抗蝕劑的光敏聚合物化合物用於掩蔽用於蝕刻工藝的電路線。由於它們的吸濕性，它們吸收水分，導致微觀電路線被切斷或橋接，導致電路故障。

　　2.晶圓製造區域

　　在晶片製造期間，旋轉器在晶片表麵上噴射顯影劑，使得存在於晶片上的溶劑快速蒸發，從而冷卻晶片表麵。這導致來自晶片表麵上的空氣的水蒸氣冷凝。晶片上的這種額外的水導致顯影劑的特性改變。抗蝕劑還吸收水分，導致聚合物膨脹。將相對濕度控製在30％消除了將晶片表麵冷卻到低於晶片表麵周圍空氣露點的可能性，從而防止失效和變質。

　　3.照片光刻室

　　光刻室中的條件需要在約70°F下保持在20％至35％RH之間。過多的水分會導致二氧化矽吸收水分，導致光刻膠粘附不當，從而導致應力破裂和表麵缺陷。

　　4.真空泵減速更快

　　如果濕度高，則由於水蒸氣的大量負荷，低溫泵等真空設備的運行速度變慢。如果RH水平可以保持在大約30-35％之間，那麽顯著降低了批次處理速度。

　　5.用於保護EPI設備

　　水蒸氣或濕氣凝結在外延設備的冷卻表麵上，腐蝕部件，導致操作失敗和過程減慢。工業91看片网站视频機可以有效地保持半導體製造區域所需的最嚴格的濕度條件，因為無論環境條件如何，它們都能夠將RH保持在低至1％甚至更低的恒定水平。